氟化物气体应用：二氟硅烷

  1.别名·英文名
    二氟二氢硅；Difluorosilane．
    2.用途
    含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。
    3.理化性质
    分子量：    68.10
    熔点：    -122.0℃
    沸点(101.325kPa)：    -77.8℃
    气体密度：    2.35kg/m3
    熔化热：    6.148kJ/kg
    气化热：    292.092kJ/kg
    临界温度：    34℃
    蒸气压(-124.3℃)：    2.666kPa
           (-98.3℃)：    26.664 kPa
           (-87.8℃)：    53.329kPa
比热容(气体，25℃)：    749.443J/(kg·K)
    二氟硅烷在常温常压下为具有腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解，但比SiHF3分解速度慢。
    2SiH2F2→SiH4+SiF4
    在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。
    与乙醇、氨和胺反应。
    参见六氟化二硅。